1 | Максимальное рабочее давление 20,6 МПа. |
2 | Максимум.рабочая температура 204 ℃ (высокотемпературная среда до 454 ℃, в это время уплотнительный материал заменен расширенным графитом) |
3 | Система фильтрации Применяются твердые частицы, газы, жидкости. |
4 | Точность 2мкм~40мкм фильтра фильтра порошковой металлургии нержавеющей стали спеченная |
5 | Поток фильтра 1x 10 -6~1×10-2 л/мин.см2.па |
6 | Фильтр можно менять. |
Особенности продукта фильтра
1 | Широкий диапазон применения, диапазон расхода от 15 до 300л/мин. |
2 | Он имеет хорошую совместимость с большинством технологических газов для полупроводников высокой чистоты. |
3 | 3 фильтрующая способность наночастиц поддерживает высокую эффективность потока и сверхмалый перепад давления. |
4 | Электрополированная поверхность 5Ra может предотвратить внутреннее загрязнение. |
5 | Выпекайте с горячим азотом после деионизированной воды, чтобы соответствовать стандартам полупроводникового процесса. |
6 | Беспыльный асептический цех уровня 1000 для производства, очистки и упаковки. |
7 | Тест на 100% утечку гелия. |
Вход | Выход | |
1 | 1/8″ трубный фитинг | 1/8″ трубный фитинг |
2 | 1/4″ трубный фитинг | 1/4″ трубный фитинг |
3 | Трубный фитинг 3/8″ | Трубный фитинг 3/8″ |
4 | 1/2″ трубный фитинг | 1/2″ трубный фитинг |
5 | трубный фитинг 6 мм | трубный фитинг 6 мм |
6 | Трубный фитинг 8 мм | Трубный фитинг 8 мм |
7 | трубный фитинг 10 мм | трубный фитинг 10 мм |
8 | трубный фитинг 12 мм | трубный фитинг 12 мм |
9 | 1/8″ внутренняя резьба NPT | 1/8″ внутренняя резьба NPT |
10 | 1/4″ внутренняя резьба NPT | 1/4″ внутренняя резьба NPT |
11 | 1/4″ наружная резьба NPT | 1/4″ наружная резьба NPT |
12 | 3/8″ наружная резьба NPT | 3/8″ наружная резьба NPT |
13 | 1/2″ наружная резьба NPT | 1/2″ наружная резьба NPT |
Параметры производительности продукта фильтра
1 | Точность фильтрации | ≥0,0025 мкм | |
2 | Эффективность фильтрации | Скорость удаления99,99999%≥0,0025 мкм | |
3 | Номинальный расход | 15л/мин | |
4 | 60 л/мин | ||
5 | 120 л/мин | ||
6 | 200 л/мин | ||
7 | 300 л/мин | ||
8 | Состав фильтра | элемент фильтра | 316L/ПТФЭ |
9 | Корпус | нержавеющая сталь 316L | |
10 | Условия труда | Максимальное давление на входе | 21 МПа (310 кгс/см2) |
11 | Максимальный перепад давления | 15 МПа (153 кгс/см2) | |
12 | Максимальная рабочая температура | 430 ℃ (инертный газ) | |
13 | Скорость утечки гелия | 1×10-9 атм.см3/сек | |
14 | Чистота поверхности | ≤Ра 5 мкдюйм |