Использование газов в полупроводниковой промышленности восходит к началу 1950 -х до 1960 -х годов. В процессе производства полупроводников газы в основном используются для очистки и защиты полупроводниковых материалов для обеспечения их чистоты и качества. Среди наиболее часто используемых газов - азот и водород.
По мере того, как разработанные и производственные процессы полупроводниковых технологий продолжали улучшаться, спрос на газы увеличивался. В 1970 году дальнейшая разработка технологии производства полупроводников, применение газов в ключевых процессах, таких как травление и постепенное расставание тонких пленок, и фторидные газы (например, SF6) и кислород обычно стали широко используемыми газами травления и осаждения. В 1980 году было дальше увеличение спроса на газы с разработкой интегрированных цепей и увеличением спроса на них. Водород широко использовался в производственном процессе, включая отжиг водорода и осаждение пары водорода. А с 1990 года по настоящее время спрос на газы высокой чистоты и конкретные газы увеличился, поскольку размеры полупроводниковых устройств продолжают сокращаться, и были введены новые процессы. Например, применение экстремальной ультрафиолетовой литографии (EUV) требует использования чрезвычайно высокой чистовой газов, таких как азот и водород.
Полупроводниковой газ продолжает увеличиваться с развитием связанных продуктов, обусловленных все большим количеством продуктов, в то время как газ также принадлежит источнику опасности, поэтому появляются продукты, используемые для декомпрессии газа, продуктов для обнаружения газа и предотвращают продукты утечки газа, такие как регулирующие органы давления, газовые клапаны, давление на давление газа, детектирование газа и т. Д., И их Roles следующие: следующие: следующие:
Регуляторы давления: регуляторы давления - это устройства, используемые для контроля давления газа. Они обычно состоят из регуляторного клапана и датчика давления. Регуляторы давления принимают вход газа высокого давления и стабилизируют давление выходного газа, регулируя клапан в соответствии с конкретными требованиями применения. Регуляторы давления широко используются в таких областях, как промышленность, производство и лаборатории, а также в полупроводниковой промышленности, среди прочего, для обеспечения стабильности и безопасности поставки газа.
Газовые клапаны: газовые клапаны используются для контроля потока газов и для закрытия газовых проходов. Они обычно имеют функцию включения/выключения, которая открывает или закрывает поток газа. Существуют различные типы газовых клапанов, включая ручные клапаны, электрические клапаны и пневматические клапаны. Они широко используются в газовых системах для управления потоком, давлением и скоростью потока газов.
Датчики давления газа: датчики газа используются для измерения уровня давления газа. Они обычно устанавливаются в критических местах в газовых системах, чтобы контролировать изменения давления и гарантировать, что они находятся в безопасных пределах. Датчики давления газа широко используются в промышленности, производстве и лабораториях, а также в полупроводнике.
Детекторы утечки газа: детекторы утечки газа используются для обнаружения утечек в газовых системах. Они обнаруживаютНаличие утечек газа и звучит сигнал тревоги, чтобы можно было предпринять своевременное действие для предотвращения несчастных случаев на утечке. Детекторы утечки газа широко используются в промышленных, химических, нефтяных и газовых применениях, а также в полупроводнике.
Время публикации: 20-2024 февраля