Ультра-высокая чистота газов необходимы во всей цепочке поставок полупроводников. На самом деле, для типичных ткаковых, высокочистых газов являются самыми большими материалами после самого кремния. После глобальной нехватки чипов отрасль расширяется быстрее, чем когда -либо, и спрос на газы с высокой чистотой.
Наиболее часто используемыми объемными газами в производстве полупроводников являются азот, гелий, водород и аргон.
Nироген
Азот составляет 78% нашей атмосферы и чрезвычайно распространен. Это также химически инертно и не проводится. В результате азот обнаружил свой путь в ряд отраслей как экономически эффективный инертный газ.
Полупроводниковая промышленность является основным потребителем азота. Ожидается, что современная производственная установка полупроводников будет использовать до 50 000 кубических метров азота в час. В производстве полупроводников азот действует как инсердаторный и очищающий газ общего назначения, защищая чувствительные кремниевые пластины от реактивного кислорода и влаги в воздухе.
Гелий
Гелий - инертный газ. Это означает, что, как и азот, гелий химически инертный - но он также имеет дополнительное преимущество высокой теплопроводности. Это особенно полезно при производстве полупроводников, позволяя ему эффективно проводить тепло от процессов высокой энергии и помогает защитить их от тепловых повреждений и нежелательных химических реакций.
Водород
Водород широко используется во всем процессе производства электроники, а производство полупроводников не является исключением. В частности, водород используется для:
Отжиг: кремниевые пластины обычно нагревают до высоких температур и медленно охлаждаются для восстановления (отжига) кристаллической структуры. Водород используется для равномерного переноса тепла в пластин и для восстановления кристаллической структуры.
Эпитаксия: Ультра-высокая чистота водород используется в качестве восстановительного агента в эпитаксиальном осаждении полупроводниковых материалов, таких как кремний и германия.
Осаждение: водород можно легировать в кремниевые пленки, чтобы сделать их атомную структуру более беспорядочной, помогая увеличить удельное сопротивление.
Очистка плазмы: водородная плазма особенно эффективна для удаления загрязнения олова из источников света, используемых в УФ -литографии.
Аргон
Аргон - это еще один благородный газ, поэтому он демонстрирует ту же низкую реакционную способность, что и азот и гелий. Однако низкая энергия ионизации аргона делает его полезным в полупроводниковых приложениях. Из -за его относительной простоты ионизации аргон обычно используется в качестве основного плазменного газа для реакций травления и осаждения в производстве полупроводников. В дополнение к этому, аргон также используется в эксимерных лазерах для ультрафиолетовой литографии.
Почему чистота имеет значение
Как правило, достижения в области полупроводниковых технологий были достигнуты за счет масштабирования размера, а новое поколение полупроводниковых технологий характеризуется меньшими размерами признаков. Это дает множество преимуществ: больше транзисторов в заданном объеме, улучшение токов, более низкое энергопотребление и более быстрое переключение.
Однако по мере того, как критический размер уменьшается, полупроводниковые устройства становятся все более сложными. В мире, где позиция индивидуальных атомов имеет значение, пороги устойчивости к разлому очень плотные. В результате современные полупроводниковые процессы требуют обработки газов с максимально возможной чистотой.
Wofly-это высокотехнологичное предприятие, специализирующееся на разработке системы применения газа: электронная специальная газовая система, лабораторная газовая система, промышленная система подачи газа, системная система объемного газа (жидкость), высокая чистота газ и специальная система вторичных трубопроводов с химическим промышленным обеспечением, система чистой воды для обеспечения полного набора инженерных и технических услуг и вспомогательных продуктов из технической консультации, в общей планировании, проектирование системы. Сайт, общее тестирование системы, техническое обслуживание и другие вспомогательные продукты интегрированно.
Время сообщения: июль-11-2023