Технология газовых трубопроводов с высокой точностью является важной частью системы подачи газа с высокой точкой, которая является ключевой технологией для обеспечения необходимого газа с высокой точкой чистоты до точки использования и по-прежнему поддерживать квалифицированное качество; Технология газопроводов с высокой точностью включает в себя правильную конструкцию системы, выбор фитингов и аксессуаров, строительство и установку, а также тестирование. В последние годы все более строгие требования к чистоте и примеси в газах высокой чистоты в производстве продуктов микроэлектроники, представленных крупномасштабными интегрированными цепями, сделали технологию трубопроводов в газах с высокой чистотой прочеривой и подчеркиваемой. Ниже приведен краткий обзор газопроизводства высокой чистоты из выбора материалаof Строительство, а также принятие и ежедневное управление.
Типы обычных газов
Классификация общих газов в электронике：
Обычные газы（Объемный газ）: Водород (ч2), азот (н2), кислород (о2), аргон (а2), и т. д.
Специальные газыэто sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,Hcl,CF4 ,NH3,Покле3, SIH2Cl2 SIHCL3,NH3, Блайт3 ,Сиф4 ,Вд3 ,Сопутствующий,C2F6, N2O,F2,Hf,HBR SF6…… и т. д.
Типы специальных газов, как правило, могут быть классифицированы как коррозийныегаз, токсичныйгаз, легковоспламеняющийсягаз, горючийгаз, инертныйгази т. д. общепринятые полупроводниковые газы обычно классифицируются следующим образом.
(i) коррозий / токсичныйгаз: Hcl, bf3, Wf6, Hbr, sih2Cl2, Nh3, Ph3, Кл2, Bcl3…и т. д.
(ii) Воспламеняемостьгаз: H2, Гл4, Sih4, Ph3, Ash3, Sih2Cl2, Б2H6, CH2F2,Гнездо3F, co ... и т.д.
(iii) горючаягаз: O.2, Кл2, N2O, nf3… и т. д.
(iv) Инертныйгаз: N2, Cf4, C2F6, C4F8,SF6, Co2, Ne, kr, он ... и т.д.
Многие полупроводниковые газы вредны для человеческого тела. В частности, некоторые из этих газов, такие как SIH4 Спонтанное сжигание, пока утечка насильственно отреагирует с кислородом в воздухе и начнет гореть; и пепел3Высокая токсичная, любая небольшая утечка может вызвать риск жизни человека, это связано с этими очевидными опасностями, поэтому требования к безопасности проектирования системы особенно высоки.
Применение применения газов
В качестве важного основного сырья современной промышленности широко используется газовые продукты, а большое количество обычных газов или специальных газов используется в металлургии, стали, нефтью, химической промышленности, технике, электронике, стекле, керамике, строительных материалах, строительстве, пищевой промышленности, медицине и медицинских секторах. Применение газа оказывает важное влияние на высокие технологии этих областей, в частности, и является его незаменимым газом сырья или газом процесса. Только благодаря потребностям и продвижению различных новых промышленных секторов и современной науки и техники, продукты газовой промышленности могут быть разработаны по скачкам и границам с точки зрения разнообразия, качества и количества.
Применение газа в микроэлектронике и полупроводниковой промышленности
Использование газа всегда играло важную роль в процессе полупроводников, особенно процесс полупроводника широко используется в различных отраслях, от традиционной ULSI, TFT-LCD до текущей микроэлектромеханической (MEMS), которая использует так называемый полупроводниковый процесс в качестве производственного процесса. Чистота газа оказывает решающее влияние на производительность компонентов и урожайности продукта, а безопасность поставки газа связана со здоровьем персонала и безопасностью работы завода.
Значение трубопроводов высокой чистоты при транспортировке газа высокой чистоты
В процессе плавления и изготовления материала из нержавеющей стали примерно 200 г газа можно поглощать на тонну. После обработки нержавеющей стали не только ее поверхность липкой с различными загрязнениями, но и в его металлической решетке также поглощала определенное количество газа. Когда проходит воздушный поток через трубопровод, металл поглощает эту часть газа повторно въехать в воздушный поток, загрязняя чистый газ. Когда воздушный поток в трубе находится прерывистым потоком, трубка адсорбирует газ под давлением, и когда поток воздуха останавливается, газовый адсорбированный газ, адсорбированный трубкой, образует падение давления для разрешения, а разрешенный газ также попадает в чистый газ в трубке в качестве примесей. В то же время адсорбция и разрешение повторяются, так что металл на внутренней поверхности трубки также производит определенное количество порошка, и эти частицы металлической пыли также загрязняют чистый газ внутри трубки. Эта характеристика трубки необходима для обеспечения чистоты транспортируемого газа, что требует не только очень высокой гладкости внутренней поверхности трубки, но и с высокой устойчивостью к износу.
Когда используется газ с сильными коррозионными характеристиками, коррозионные трубы из нержавеющей стали должны использоваться для трубопроводов. В противном случае труба будет производить места коррозии на внутренней поверхности из -за коррозии, и в серьезных случаях будет распределять большую площадь металлической личины или даже перфорации, которая загрязняет чистый газ.
Соединение высокочислительной и высокочистости газовой передачи и распределительных трубопроводов больших скоростей потока.
В принципе, все они сварены, а используемые трубки не должны иметь никаких изменений в организации при применении сварки. Материалы с слишком высоким содержанием углерода подвергаются воздушной проницаемости сварных частей при сварке, что делает взаимное проникновение газов внутри и снаружи трубы и разрушает чистоту, сухость и чистоту переданного газа, что приводит к потере всех наших усилий.
Таким образом, для высокочислительной газа и специальной трубопровода передачи газа необходимо использовать специальную обработку трубы из нержавеющей стали с высокой точностью, чтобы создать трубопроводные трубопроводы (включая трубы, фитинги, клапаны, VMB, VMP) в распределении газа с высокой чистотой газом занимает жизненно важную миссию.
Общая концепция чистой технологии для трансмиссионных и распределительных трубопроводов
Высоко чистая и чистая передача тела газа с помощью трубопровода означает, что существуют определенные требования или контроль для трех аспектов газа, которые должны быть транспортированы.
Чистота газа: содержание атмосферы примесей в чистоте GGAS: содержание атмосферы примесей в газе, обычно выражаемое в процентах от чистоты газа, например, 99,999%, также выражаемое как соотношение объема атмосферной атмосферы PPM, PPB, ppt.
Сухость: количество следов влаги в газе или количество, называемое влажностью, обычно выражаемое с точки зрения точки росы, таких как точка росы -атмосферного давления -70. C.
Чистота: количество частиц загрязняющих веществ, содержащихся в газе, размер частиц мкМ, сколько частиц/м3 для экспрессии для сжатого воздуха обычно также выражаются с точки зрения того, сколько мг/м3 неизбежных остатков твердых изделий, что покрывает содержание масла.
Классификация размера загрязняющих веществ: частицы загрязняющих веществ, в основном, относится к исчезновению трубопроводов, износу, коррозии, генерируемой частицами металлов, частицами атмосферной сажи, а также микроорганизмам, фагам и влажным капли конденсации и т. Д.
а) Большие частицы - размер частиц выше 5 мкм
б) диаметр частицы-диаметр материала между 0,1 мкм-5 мкм
C) Ультра-микро-частицы-размер частиц менее 0,1 мкм.
Чтобы улучшить применение этой технологии, чтобы иметь возможность воспринимать понимание размера частиц и единиц мкМ
Ниже приведено сравнение конкретных частиц
| Название /Размер частиц (мкм) | Название /Размер частиц (мкм) | Название/ Размер частиц (мкм) |
| Вирус 0,003-0,0 | Аэрозоль 0,03-1 | Аэрозольная микроадроплет 1-12 |
| Ядерное топливо 0,01-0,1 | Краска 0,1-6 | Летать пепел 1-200 |
| Углеродный черный 0,01-0,3 | Молочный порошок 0,1-10 | Пестицид 5-10 |
| Смола 0,01-1 | Бактерии 0,3-30 | Цементная пыль 5-100 |
| Сигаретный дым 0,01-1 | Песчаная пыль 0,5-5 | Пыльца 10-15 |
| Силикон 0,02-0,1 | Пестицид 0,5-10 | Человеческие волосы 50-120 |
| Кристаллизованная соль 0,03-0,5 | Концентрированная серная пыль 1-11 | Морский песок 100-1200 |
Время сообщения: июнь-14-2022