Вступление
Специальный газотранспортный шкаф предназначен для подачи легковоспламеняющихся, взрывоопасных, агрессивных, ядовитых и других опасных газов.
Систему можно разделить на категории: полностью автоматическая, полуавтоматическая и ручная.К основным функциям относятся автоматическая продувка, автоматическое переключение и автоматическое защитное отключение в аварийных ситуациях (при срабатывании установленного сигнала тревоги).
Автоматический бензобак управляется ПЛК, сенсорный экран представляет собой человеко-машинный интерфейс, а датчик давления устанавливается устройством.
Такие устройства, как кондиционер, пневматический клапан, расходомер и т. д., обеспечивают безопасную и эффективную работу оборудования.Внутреннее программирование ПЛК, функция блокировки расходомера, а также разумный выбор и компоновка деталей клапана высокой чистоты соответствуют требованиям производственного процесса полупроводникового процесса.
Требования к непрерывной подаче и высокой чистоте специальных газов в среде, а также для обеспечения нормального производства на заводе и безопасности личной жизни сотрудников.